Các sản phẩm
Máy vát bên ngoài
Máy vát bên ngoài cung cấp vát cạnh chính xác cho các vật liệu wafer, tạo ra các cạnh mịn, vát trong khi loại bỏ micro - vết nứt và các cạnh sắc nét.
Tính năng
Ứng dụng
CácMáy vát bên ngoàiCung cấp vát cạnh chính xác cho các vật liệu wafer, tạo các cạnh mịn, vát trong khi loại bỏ micro - các vết nứt và các cạnh sắc nét. Tương thích với các tấm wafer 150-200mm (6-8 ") bao gồm silicon, sapphire, sic và GaAs, thiết bị chuyên dụng này đảm bảo chất lượng cạnh vượt trội để sản xuất chất bán dẫn.
WEG200 - máy vát ngoài 2p-fa
|
Số mô hình |
WEG200 - 2p-fa |
||
|
Phương pháp vát |
Sử dụng một bánh mài đánh bóng hình thành kim cương kết hợp để mài và đánh bóng các tấm wafer cắt |
||
|
Trục chính của bàn mang |
con số |
1 |
|
|
Phạm vi tốc độ (RPM) |
60-1000 |
||
|
Trống trục |
con số |
2 |
|
|
Phạm vi tốc độ (RPM) |
1000-40000 |
||
|
Kích thước wafer |
4 ', 6 inch', 8 inch ' |
||
|
Xử lý Độ chính xác |
Dung sai đường kính |
± 10um |
|
|
Độ lệch biên độ (A1, A2) |
Nhỏ hơn hoặc bằng 30um |
||
|
Độ tròn của tinh thể |
± 10um |
||
|
Tiền sản |
± 0,1 độ |
||
|
Độ chính xác độ sâu |
± 5um |
||
|
Độ chính xác độ lặp lại của phép đo độ dày |
± 2um |
||
|
Cấu trúc thiết bị |
Máy trạm kép |
||
Chú phổ biến: Máy vát bên ngoài, Nhà sản xuất máy vát bên ngoài Trung Quốc, nhà cung cấp, nhà máy
Miễn phí
Miễn phí
Bạn cũng có thể thích
Gửi yêu cầu
